MiniStocker
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(1) 可与MES对接, 识别wafer lot 与对应的制程工序.
(2) 自动化传输与储存工具与调度软体.
(1) 可与MES对接, 识别wafer lot 与对应的制程工序.
(2) 自动化传输与储存工具与调度软体.
地址：上海嘉定区曹安公路5588号814
电话：+86 21 58886448 +86 13182712576(周先生)
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