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AXI-930B
产品描述

-Manufacturer : Rudolph

-Type : wafer inspection
-Model :AXI-930B

技术支持

1、设备可适用8”和12”的圆片,8”圆片厚度≥190微米,12”圆片厚度≥400微米,翘曲度小于200um。
2、摄像头解析度:像素为1200x1600 pixels。不同物镜下的最小分辨率:4.8um @ 2X,3.2um @ 3X,1.9um @ 5X,0.95um @ 10X,0.48um@20X。
3、可靠性:运行10次进行计算,可靠性> 95%(在+/-1个像素误差条件下)
4、误报率:误报率 < 2%(在+/-1个像素误差条件下)
5、捕捉率:捕捉率>= 95%(在+/-1个像素误差条件下)

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上海友相电子科技有限公司

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